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- 南方电网申请基于soi的压力传感器专利，能够提高压力传感器的测量精确度
- 来源：金融界 发表于 2024/11/27
金融界2024年11月27日消息，国家知识产权局信息显示，中国南方电网有限责任公司申请一项名为“基于soi的压力传感器”的专利，公开号 cn 119023124 a，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本申请涉及一种基于soi的压力传感器，涉及微电子技术领域。包括依次层叠设置的密封衬底、下电极结构、绝缘结构和上电极结构；密封衬底和下电极结构之间设置有空腔，下电极结构与空腔接触的表面设置有压力敏感膜；绝缘结构的尺寸小于下电极结构的尺寸且大于上电极结构的尺寸上电极结构的位置与压力敏感膜的位置相对应；还包括：补偿结构；其中，补偿结构与上电极结构处于同一水平面，且设置在绝缘结构远离下电极结构的表面，补偿结构的位置与下电极结构直接与密封衬底接触的表面位置相对应。本申请能够提高压力传感器的测量精确度。
本文源自：金融界
作者：情报员
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